布魯克斯brooks質量流量控製器

質量流量控製技術，前所未有的過程精度

為真正實現對每個過程的控製，用戶必須精確測量進行中的過程 — 範圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然後利用所得到的實時信息確保過程準確按照目標執行並達到目標產率。

作為一家在液體精確測量與控製方麵全球領先的企業，布魯克斯儀器數十年來不斷堅持創新熱質量流量技術，推出新產品並不斷提升現有係統性能以突破現有熱質量流量技術在準確性、響應速度、精度和重現性方麵的限製。

布魯克斯質量流量設備在全球得到廣泛應用的關鍵原因：

擁有業內種類齊全的產品係列可滿足各種應用需求

創新型 MultiFlo™ 技術可使一台設備完成氣體類型和量程的切換工作並且無需從係統中拆除設備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性

產品範圍全麵，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設備，專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業需求而設計

關鍵應用

熱處理、切割等其他熱過程

半導體和 LED 生產工具

薄膜澱積係統

用於生物製藥的生物反應器

石化和化工氣體和液體試驗工廠

吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定